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规格
型号 | SJ-500 | SV-2100M4 | SV-2100S4 | SV-2100H4 | SV-2100W4 | |
标准型 | (选件) | 手动 | 操作电动驱动 | |||
测量范围
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Z1 轴 (检出器) | 800μm, 80μm, 8μm | ||||
X 轴 | 50mm | 100mm | ||||
直线度 | 0.2μ尘/50尘尘*1 | 0.15μ尘/100尘尘 | ||||
分辨力
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X 轴 | 0.05μ尘 | ||||
Z1 轴 (检出器) | 0.01μm (800μm), 0.001μm (80μm), 0.0001μm (8μm) | |||||
Z2 轴 (立柱) | - | - | 0.1μ尘 | |||
驱动速度 |
X 轴
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0 - 20mm/s 或手动操作 | 0 - 40mm/s 或手动操作 | |||
Z2 轴 (立柱) | - | 手动 | 0 - 20mm/s 或手动操作 | |||
测量速度 | 0.02 - 5mm/s | |||||
上下移动量 | 连接装置: 30mm | 350mm | 350mm | 550mm | ||
评价轮廓 | 原始轮廓, 粗糙度轮廓, 波形轮廓, DF 轮廓, 粗糙度 motif 轮廓, 波形 motif 轮廓 | |||||
评价参数 |
Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, m(rc),
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